三重扫描方式可以测量任何目标

通过使用三种不同的测量原理:激光共焦、白光干涉和聚焦变化,可以对任何目标进行高精度测量。

白光干涉测量法
激光共焦
焦点变异

一流的0.01 nm分辨率

精确测量纳米级形状的微小变化。
即使是困难的材料,如透明或镜像表面,也可以被测量。

整个目标的纳米分辨率

扫描面积可达50 × 50毫米,因此可以测量和分析样品的整个表面。

测量平坦和不平坦的表面

毫米,微米,纳米在一个设备中测量

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