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通过使用三种不同的测量原理:激光共焦、白光干涉和聚焦变化,可以对任何目标进行高精度测量。
精确测量纳米级形状的微小变化。即使是困难的材料,如透明或镜像表面,也可以被测量。
扫描面积可达50 × 50毫米,因此可以测量和分析样品的整个表面。
测量平坦和不平坦的表面
毫米,微米,纳米在一个设备中测量
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