3D光学轮廓仪VR-6000系列

VR-6000光学型电压器执行非接触式测量以取代触控笔轮廓计和粗糙仪。该3D配置文件系统以0.1μm的分辨率捕获到目标的全面数据，从而能够测量无法使用探针型仪器执行的功能。新的旋转扫描大大扩展了系统的测量功能。可以使用盲点进行真正的横截面测量。可以在不切割或破坏目标的情况下测量壁厚和凹陷特征。此外，HDR扫描算法提供了增强的扫描功能，即使在光泽和遮罩表面上也可以立即确定最佳设置以捕获高质量数据。