三维光学表面光度仪
vr - 6000系列
三维光学表面光度仪vr - 6000系列
VR-6000光学轮廓仪采用非接触式测量,取代触针轮廓仪和粗糙度仪。该三维剖面系统可以捕获目标表面的全部数据,分辨率为0.1 μm,可以实现探测类型仪器无法实现的特征测量。新的旋转扫描大大扩展了系统的测量能力。可以在没有盲点的情况下进行真实的截面测量。可以在不切割或破坏目标的情况下测量壁厚和凹陷特征。此外,HDR扫描算法提供了增强的扫描能力,可以立即确定最佳设置,以捕获高质量的数据,甚至在光滑和哑光表面。